◎記者 劉逸鵬
這是一場(chǎng)有關(guān)信心與決心的“長(zhǎng)跑”。
十二年的時(shí)間，從一間不足100平方米的辦公室起步，到成為資本市場(chǎng)的“新兵”——深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司（下稱“恒運(yùn)昌”）做對(duì)了什么？
“首先是信心，我始終相信，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)會(huì)實(shí)現(xiàn)自強(qiáng)自立；其次是決心，闖出一條新路，不一定能夠成功，但是如果不邁出第一步，那絕對(duì)不會(huì)成功?！弊阽R頭前，恒運(yùn)昌董事長(zhǎng)樂衛(wèi)平整理了一下西裝，又微微調(diào)整了坐姿，口中的話語鮮有停頓。
1月28日，恒運(yùn)昌在科創(chuàng)板掛牌。“上市是一個(gè)新的起點(diǎn)，我們不滿足于僅實(shí)現(xiàn)自主可控，恒運(yùn)昌的愿景是成為一家圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺(tái)型公司。”樂衛(wèi)平說。
在縫隙中尋找“火種”
2013年，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)還處于萌芽階段，國產(chǎn)半導(dǎo)體零部件裝備在晶圓廠中幾乎沒有一席之地。
彼時(shí)，樂衛(wèi)平已經(jīng)在美國AE公司工作了十一年，他見證了國內(nèi)客戶的普遍困境——國內(nèi)晶圓廠的建設(shè)和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)完全參照美國，裝備清一色來自國外，不僅沒有定價(jià)權(quán)，也無法保證交付期。
這種“卡脖子”的困境，觸動(dòng)了樂衛(wèi)平創(chuàng)業(yè)的決心。“盡管這意味著要放棄外企的優(yōu)厚待遇，但我毫不猶豫?！睒沸l(wèi)平表示。
在深圳市寶安區(qū)一間不到100平方米的辦公室內(nèi)，樂衛(wèi)平開始了創(chuàng)業(yè)“長(zhǎng)跑”，并將方向定于等離子體射頻電源系統(tǒng)。這并不是一個(gè)簡(jiǎn)單的電源設(shè)備，它是半導(dǎo)體制程中薄膜沉積、刻蝕等核心工藝控制的“心臟”。
團(tuán)隊(duì)最初只有5名員工，面臨著資金、人才、市場(chǎng)信任等不確定性。在幾乎沒有收入的情況下，樂衛(wèi)平仍決定將有限的資源全部投入產(chǎn)品研發(fā)。
此后三年，在這間辦公室里，團(tuán)隊(duì)成員埋頭苦干，反復(fù)在技術(shù)上進(jìn)行鉆研。公司賬上的資金，很快就捉襟見肘，最困難時(shí)，連工資發(fā)放都面臨壓力?！翱晒?jiān)戰(zhàn)沒有捷徑，越是核心、越是艱難，一旦突破，價(jià)值就越大?！睒沸l(wèi)平說。
2015年，恒運(yùn)昌第一代1KW工業(yè)級(jí)射頻電源問世，在客戶端測(cè)試中，其性能仍有短板。
面對(duì)挫折，樂衛(wèi)平?jīng)]有氣餒，開始了更加頻繁地奔走?！白鲅邪l(fā)要耐得住寂寞，獲得市場(chǎng)的認(rèn)可更是一個(gè)漫長(zhǎng)的周期?！睒沸l(wèi)平稱。
2017年，在一場(chǎng)行業(yè)展會(huì)上，樂衛(wèi)平結(jié)識(shí)了國內(nèi)薄膜沉積設(shè)備龍頭企業(yè)拓荊科技?！爱?dāng)時(shí)，他們同樣處于國產(chǎn)化攻堅(jiān)的早期階段?；蛟S是雙方都秉持著國產(chǎn)化的堅(jiān)定信念，才為后面的合作埋下了伏筆?！睒沸l(wèi)平說。
從“破冰”訂單到國產(chǎn)龍頭
時(shí)至今日，樂衛(wèi)平仍清晰記得，2018年，拓荊科技在研發(fā)PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備時(shí)，急需定制開發(fā)一套國產(chǎn)射頻電源系統(tǒng)。他帶著整個(gè)公司的8名同事，從深圳飛到沈陽，與拓荊科技團(tuán)隊(duì)進(jìn)行了一整天的技術(shù)交流?！肮ぷ鞑投际窃跁?huì)議室吃的?！彼貞浀馈?/p>
伴隨著首次合作的確定，更加艱辛的跋涉開始了。恒運(yùn)昌組建了專項(xiàng)團(tuán)隊(duì)，針對(duì)拓荊設(shè)備的具體工藝需求，開始了高強(qiáng)度的定制開發(fā)和測(cè)試迭代。從樣品初研到反復(fù)送樣，從性能參數(shù)優(yōu)化到工藝適配調(diào)整，整個(gè)過程持續(xù)了近三年。
2020年底，恒運(yùn)昌的等離子體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)品正式通過拓荊科技的驗(yàn)證，并獲得首批批量訂單。“這個(gè)訂單，是恒運(yùn)昌命運(yùn)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)。它不僅帶來了至關(guān)重要的現(xiàn)金流，更重要的是，它像一塊敲門磚，為恒運(yùn)昌在行業(yè)內(nèi)建立了最初的信用背書。我們的產(chǎn)品通過了最嚴(yán)格的實(shí)戰(zhàn)檢驗(yàn)?！睒沸l(wèi)平說。
此后，中微公司、北方華創(chuàng)、盛美上海等國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備商相繼成為恒運(yùn)昌的客戶，驗(yàn)證周期也縮短至一年之內(nèi)。
此外，恒運(yùn)昌的產(chǎn)品線也從CSL系列，迭代至可支撐28納米制程的Bestda系列，再到突破7納米至14納米先進(jìn)制程的Aspen系列，部分關(guān)鍵指標(biāo)已達(dá)到與海外龍頭企業(yè)次新一代產(chǎn)品同等技術(shù)水平。2021年，恒運(yùn)昌向中芯國際交付的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了刻蝕設(shè)備用射頻電源的首次國產(chǎn)原位替換。
市場(chǎng)數(shù)據(jù)同樣印證著恒運(yùn)昌的成長(zhǎng)：2024年，恒運(yùn)昌在中國半導(dǎo)體行業(yè)等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)廠商中，市場(chǎng)份額位列第一，在該細(xì)分領(lǐng)域的國產(chǎn)化進(jìn)程中扮演了關(guān)鍵角色。
從“卡脖子”到“掰手腕”
當(dāng)下，恒運(yùn)昌已經(jīng)駛?cè)朐鲩L(zhǎng)的快車道。如何平衡速與質(zhì)的關(guān)系，保證每一臺(tái)出廠的電源都達(dá)到“精密復(fù)制”的半導(dǎo)體級(jí)品質(zhì)，成為公司面臨的管理挑戰(zhàn)。
“恒運(yùn)昌的應(yīng)對(duì)之策是堅(jiān)守質(zhì)量流程，從研發(fā)、生產(chǎn)到售后，建立嚴(yán)格的全流程管控體系。我們絕不會(huì)因?yàn)榻桓秹毫Χ档推焚|(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。”樂衛(wèi)平說。
招股書顯示，2022年至2024年，恒運(yùn)昌的營(yíng)收從1.58億元增至5.41億元，凈利潤(rùn)從2618萬元增至1.42億元，營(yíng)收及凈利潤(rùn)的復(fù)合增長(zhǎng)率分別高達(dá)84.91%和131.87%。2022年至2024年，公司產(chǎn)能利用率連續(xù)超過100%。
樂衛(wèi)平告訴記者，登陸科創(chuàng)板，募集資金用于擴(kuò)產(chǎn)和研發(fā)，已經(jīng)成為恒運(yùn)昌發(fā)展的必然選擇，也是公司戰(zhàn)略升級(jí)的主動(dòng)布局。
根據(jù)規(guī)劃，恒運(yùn)昌本次IPO募資將主要用于沈陽產(chǎn)業(yè)化基地、深圳智能化生產(chǎn)基地及研發(fā)中心建設(shè)。其中，沈陽基地將重點(diǎn)解決產(chǎn)能瓶頸，統(tǒng)籌區(qū)域內(nèi)優(yōu)勢(shì)資源；深圳基地和研發(fā)中心則旨在拓展產(chǎn)品線，并向光伏、顯示面板等更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)軍。
目前，恒運(yùn)昌的第三代Aspen系列產(chǎn)品在調(diào)諧時(shí)間、功率精度等關(guān)鍵指標(biāo)上已經(jīng)能夠比肩國際龍頭的次新一代產(chǎn)品；公司也啟動(dòng)了劍指5納米及以下制程的第四代產(chǎn)品研發(fā)，旨在實(shí)現(xiàn)與國際最先進(jìn)產(chǎn)品的“并跑”。
從被“卡脖子”到嘗試“掰手腕”，恒運(yùn)昌不僅要實(shí)現(xiàn)自主可控，未來更要持續(xù)與國際巨頭同臺(tái)競(jìng)技，在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)一席之地?！半m然，前路依然漫長(zhǎng)，但曙光已經(jīng)可見。”樂衛(wèi)平說。